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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 202411-27
    XRM應(yīng)用分享 | Skyscan 2214與MTS: 揭秘樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)與力學(xué)行為的黃金搭檔

    在工程力學(xué)和材料科學(xué)領(lǐng)域,對(duì)材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和力學(xué)行為的深入研究至關(guān)重要。這不僅關(guān)系到材料的應(yīng)用性能,還直接影響到工程安全和效率。目前,我們要介紹的是Skyscan2214和MTS(材料力學(xué)試驗(yàn)機(jī))這一對(duì)在力學(xué)研究中不能缺少的黃金搭檔。Skyscan2214:高分辨率X射線成像系統(tǒng)Skyscan2214是由Bruker公司生產(chǎn)的高分辨率X射線成像系統(tǒng),它在材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)研究中扮演著重要角色。以下是Skyscan2214的一些關(guān)鍵特性和應(yīng)用:1.高分辨率成像能力Skyscan221...

  • 202411-20
    全新臺(tái)式D6 PHASER應(yīng)用報(bào)告系列(七)— 掠入射衍射- X射線衍射XRD

    掠入射衍射介紹掠入射衍射(GID,Grazingincidencediffraction)是研究多晶薄膜的一種常用方法。薄膜樣品在Bragg-Brentano對(duì)稱衍射中通常表現(xiàn)出非常微弱的衍射信號(hào),原因在于X射線可穿透薄膜照射到底層襯底,由于襯底其較大的散射體積,導(dǎo)致其衍射信號(hào)在終端信號(hào)中占據(jù)主導(dǎo)地位。然而,如果不是BB幾何的發(fā)散光路,而是一束細(xì)的平行光束照向樣品表面,這樣它只穿透薄膜而不穿透下方的襯底材料,那么來(lái)自薄膜的衍射信號(hào)則會(huì)成為主導(dǎo)。通過(guò)優(yōu)化平行光束的入射角度,可以...

  • 202411-20
    如何確保晶圓片在線面掃檢測(cè)儀的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性?

    在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中,對(duì)晶圓片表面質(zhì)量的精確檢測(cè)是至關(guān)重要的。晶圓片在線面掃檢測(cè)儀作為一種先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備,因其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控晶圓片表面的微小缺陷,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線上。晶圓片在線面掃檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)充分考慮了高效檢測(cè)的需求。它通常由一個(gè)高速掃描系統(tǒng)和一個(gè)高分辨率成像系統(tǒng)組成,能夠在晶圓片傳輸過(guò)程中實(shí)時(shí)捕捉表面圖像,并通過(guò)圖像處理算法自動(dòng)識(shí)別和分類各種缺陷。這種設(shè)計(jì)不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還能夠顯著降低因缺陷導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢率。晶圓片在線面掃檢測(cè)儀還具備多種高級(jí)功能,以滿足不同的應(yīng)...

  • 202411-20
    應(yīng)用分享 | AES俄歇電子能譜專輯之應(yīng)用案例(二)

    上篇介紹了俄歇電子能譜(AES)的定性分析、定量分析及化學(xué)態(tài)分析功能,本篇我們將繼續(xù)分享更多AES高級(jí)功能,其中包括表面形貌觀察、深度分析及顯微分析。表面形貌觀察AES作為一種先進(jìn)的電子束探針表征技術(shù),在納米級(jí)乃至更高精度的空間分辨要求上展現(xiàn)出了強(qiáng)大的優(yōu)勢(shì),因此非常適用于納米尺度材料的表征。與掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)等依賴電子束探針的技術(shù)相似,AES在電子束聚焦能力上表現(xiàn)出色,尤其是場(chǎng)發(fā)射電子束技術(shù)的融入,極大地提升了其空間分辨能力。當(dāng)前PHI710...

  • 202411-20
    順磁共振譜儀的工作原理和優(yōu)勢(shì)

    順磁共振譜儀(EPR)是一種基于電子自旋共振現(xiàn)象,用于研究含有未成對(duì)電子的順磁物質(zhì)的儀器。其工作原理和優(yōu)勢(shì)如下:工作原理1.建立磁場(chǎng):首先在儀器中建立一個(gè)強(qiáng)磁場(chǎng),通常使用超導(dǎo)磁體來(lái)產(chǎn)生很高的磁場(chǎng)。2.激發(fā)電磁輻射:使用微波源產(chǎn)生特定頻率的微波輻射,這個(gè)頻率通常是與順磁物質(zhì)的共振頻率相匹配的。微波輻射被引導(dǎo)到樣品中,并與樣品中的未成對(duì)電子進(jìn)行相互作用。3.收集信號(hào):通過(guò)所謂的共振回路(resonator)收集樣品中電子的共振信號(hào)。共振回路是通過(guò)感應(yīng)線圈和諧振電路組成的。4.分析...

  • 202411-15
    半導(dǎo)體制造:晶圓片在線面掃檢測(cè)儀的作用與價(jià)值

    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,質(zhì)量控制是確保芯片性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著技術(shù)的發(fā)展,晶圓片在線面掃檢測(cè)儀成為了這一過(guò)程中不可或缺的工具。晶圓片在線面掃檢測(cè)儀是一種高精度的檢測(cè)系統(tǒng),專門用于監(jiān)測(cè)晶圓片表面的微小缺陷。這些缺陷可能包括顆粒污染、劃痕或圖案不完整等,它們都可能影響最終產(chǎn)品的性能。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),該設(shè)備能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并反饋給生產(chǎn)線,從而避免不良品的產(chǎn)生。該檢測(cè)儀基于光學(xué)掃描技術(shù)。一束激光或強(qiáng)光被引導(dǎo)至晶圓片表面,并通過(guò)高分辨率的攝像頭捕捉反射回來(lái)的光線。如果晶圓片表面存在任何...

  • 202411-13
    應(yīng)用分享 | 氬離子設(shè)備 (XPS、PHI710、TOF-SIMS)

    氬離子設(shè)備對(duì)于表面分析,樣品表面極易被污染。為了清潔被污染的固體表面,在能譜分析中,常常利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行濺射剝離,以清潔表面。利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束定量地剝離一定厚度的表面層,然后再分析表面成分,這樣就可以獲得元素成分沿深度方向的分布圖。同時(shí),離子設(shè)備也兼具中和樣品表面荷電的作用。一、氬離子設(shè)備原理圖▲圖1氬離子設(shè)備原理圖二、氬離子設(shè)備實(shí)圖▲圖2氬離子設(shè)備圖三、氬離子設(shè)備主要作用清潔(樣品表面被污染)清潔被污染的樣品表面,利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對(duì)樣品...

  • 202411-5
    揭秘物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu),X射線三維顯微鏡的跨領(lǐng)域影響力

    在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域,高精度成像技術(shù)的重要性日益凸顯。X射線三維顯微鏡作為一種先進(jìn)的無(wú)損檢測(cè)工具,以其獨(dú)特的穿透能力和高分辨率成像特性,成為了材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)以及工業(yè)質(zhì)量控制等多個(gè)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。X射線三維顯微鏡基于X射線與物質(zhì)相互作用時(shí)的吸收差異。當(dāng)X射線穿過(guò)物體時(shí),不同密度和組成的材料會(huì)對(duì)X射線產(chǎn)生不同程度的衰減,這種衰減信息被探測(cè)器捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號(hào),最終通過(guò)計(jì)算機(jī)處理生成三維圖像。與傳統(tǒng)的二維X射線成像相比,三維顯微鏡能夠提供更為豐富的空間結(jié)構(gòu)信息,使得研究...

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